In enger Zusammenarbeit mit namhaften Anbietern von Inspektionssystemen realisieren wir modular aufgebaute Anlagen zur Qualitätskontrolle und Klassifizierung von kristallinen Siliziumwafern.
Unser Wafer Inspection System – WIS – dient der vollautomatischen Prüfung von mono- und polykristallinen Siliziumwafern. Der modulare Aufbau der Anlage ermöglicht eine individuelle Konfiguration mit Inspektionstechnologien sowie eine problemlose Integration in Ihre Produktionslinie.
Das System ermöglicht einen Durchsatz von bis zu 3600 Wafer/h bei niedrigsten Bruchraten. Wie alle unsere Anlagen zeichnet sich das WIS durch eine exzellente Material- und Verarbeitungsqualität sowie hohe Wartungs- und Bedienfreundlichkeit aus.
Die Anlage kann an Ihr MES-System sowie an ein vollautomatisches Transport- und Speichersystem angebunden werden.
Materialvereinzelung aus Stapel
konfigurierbares Messmodul durch Integration von bis zu drei Inspektionssystemen
Beladung von Chemie-Carriern
optimales Zusammenspiel zwischen Automatisierung und Inspektion (getaktete und „on-the-fly“ Messungen)
MES SECS / GEM PV2
Prüfung der Qualitätsmerkmale Geometrie, Schichtdicke/ TTV, Mikrorisse und Lifetime
Verkettung mit einem Transport- und Speichersystem
direkte Anbindung an die Nassbank-Beladung
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