Die Maschinenplattform WHD erfüllt die vielseitigen Anforderungen der Solarzellen-Massenproduktion. Sie gewährleistet die effiziente, vollautomatische Be- und Entladung von Quartzbooten im Prozessschritt Diffusion.
Alle Automatisierungsschritte und Komponenten sind auf zukünftige Ansprüche – zum Beispiel geringe Waferdicken – ausgelegt. Ein weiterer Vorteil des WHD Systems ist seine hohe Flexibilität hinsichtlich Produktionsauslastung und Prozessvariation.
Basierend auf dem hohen Durchsatz der WHD HTP ist es möglich, einen (single), zwei (TWIN) oder drei (triple) Rohröfen mit ein und derselben Maschine zu automatisieren.
In der Konfiguration WHD HTP (triple) erreicht das System einen Durchsatz von 10.000 Wafer/h und ist damit das leistungsstärkste am Markt verfügbare System.
konfigurierbar für eine Vielzahl von Diffusionsrohröfen | Prozesse z.B. POCl3, BBr3, BCl3, Annealing, Oxidation
konfigurierbar hinsichtlich Materialzufuhr | Automatisierungs- und Chemie-Carrier
konfigurierbar für verschiedene Boottypen und Beladearten
hohe Prozessgüte durch schonende und sensorüberwachte Handhabung des Materials
Automatisierung von bis zu drei Prozessöfen mit einer WHD HTP (single, TWIN, triple)
integrierte „back-to-back“ Funktion
virtuelle Materialverfolgung
MES SECS / GEM PV2
Bedienung von einer Seite
integrierte Messung des Flächenwiderstands
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