Sondermaschinenbau aus Berlin

27. April 2017 | Photovoltaik

Jonas & Redmann verbessert Automationssysteme

Jonas & Redmann blickt mehr als zufrieden auf die diesjährige SNEC in Shanghai zurück. An drei Tagen präsentierte Jonas & Redmann auf der weltweit bedeutendsten Photovoltaikshow eine Reihe von Innovationen, die in ihrer Gesamtheit eine neue Generation von Automationsanlagen zur Be- und Entladung von Hocheffizienten-Prozessen in der Herstellung kristalliner Siliziumsolarzellen darstellen.

Tray Automation

Mit der weiterentwickelten TRAY AUTOMATION bietet Jonas & Redmann eine Anlage zur automatischen Be- und Entladung von inline-Beschichtungsanlagen, die besonders hohen Ansprüchen an das Zellhandling genügt und über best-in-class Leistungen hinsichtlich Durchsatz, uptime und footprint verfügt. Die modulare Anlage lässt sich auf die speziellen Anforderungen des jeweiligen Prozesses, zum Beispiel PECVD, PVD, CVD oder ALD anpassen. Die eingesetzten Greiftechnologien sind speziell auf das Handling sehr dünner Wafer mit sehr empfindlichen Beschichtungen abgestimmt. Integriert wurden nur sehr schonende Handhabungskonzepte, auch auf Basis patentierter Greiftechnologien. Für den Einsatz in der Herstellung von Heterojunctionzellen (HJT) – hier sind die Anforderungen an das oberflächenschonende Handling und das präzise Ablegen der Wafer im Tray besonders wichtig – bietet Jonas & Redmann ein kamerabasiertes high accuracy kit, dass den Wirkungsgrad der Zelle durch die hochexakte Positionierung des Wafers in der Traytasche nachweislich erhöht. Weiterhin bietet die Plattform eine Reihe von Innovationen, die der Beschichtungsgenauigkeit oder der Bruchreduzierung dienen. Eine standardmäßige Traystabilisierung und –zentrierung tragen Sorge für die exakte Lage des Trays und für ausgezeichnete Positionierergebnisse. Die Anlage lässt sich problemlos für verschiedene Traygrößen (z.B. 6×4, 5×4, 6×9, 6×7, 8×8, 9×11) konfigurieren. Durch das intelligente Engineering sind Formatwechsel einfach durch plug and play möglich. Die Integration verschiedener Messsysteme, etwa zur Waferbruch- oder Farbkontrolle in die Anlage ist nur eine von weiteren Optionen. In Anhängigkeit von der Produktionsumgebung oder der Prozessanlage lässt sich die besonders kompakte TRAY AUTOMATION auch als Double-End Lösung ausführen. Die TRAY AUTOMATION ist für einen Durchsatz von bis 6.500 Wafer/ Stunde ausgelegt.

Produktinformation: TRAY AUTOMATION

WHD HTP 10000 und WHP HTP 8000

Seit dem Jahr 2000 hat Jonas & Redmann mehr als 1000 Anlagen der Typen WHD (Wafer Handling Diffusion) und WHP (Wafer Handling Plasma) weltweit im Markt installiert. Mit der neuen Generation dieser Automationssysteme für Diffusions-Rohröfen und PECVD-Rohranlagen bietet Jonas & Redmann die derzeit effizientesten Be- und Entladelösungen für diese Prozessschritte in der Herstellung kristalliner Siliziumsolarzellen. Die kompakten Anlagen sind modular aufgebaut und lassen sich problemlos an verschiedene Produktionsumgebungen und Herstellertypen anpassen. Je nach Kundenwunsch lassen sich Messsysteme für eine durchgängie Prozessüberwachung integrieren. Durch die stetige Weiterentwicklung der einzelnen Baugruppen, besonders der Handlingkomponenten, garantiert die Anlage auch bei sehr hohen Durchsätzen geringste Bruchraten von unter 0,03% und einen zuverlässigen Betrieb bei einer uptime von > 99%.

Produktinformation: WHD HTP 10000

Produktinformation: WHP HTP 8000

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