Die Maschinenplattform WHP erfüllt die vielseitigen Anforderungen der Solarzellen-Massenproduktion. Sie gewährleistet die effiziente, vollautomatische Be- und Entladung von Prozessbooten in PECVD und Multi-Layer Beschichtungsprozessen.
Das WHP System wurde speziell für die automatische Be- und Entladung von Rohranlagen im Prozess Passivierung und Nitridbeschichtung entwickelt und bietet eine hohe Flexibilität hinsichtlich Produktionsauslastung und Prozessvariation.
Dank ausgereifter Greiftechnologien und der exakten Positionierung der Wafer im Prozessboot, kann es in der Produktion von Standardzellkonzepten und in der Produktion von hocheffizienten Solarzellen – wie zum Beispiel PERC oder PID-freie Solarzellen – gleichermaßen eingesetzt werden.
Durch patentierte Technologien zur Vermeidung von Beschädigungen auf sehr empfindlichen Waferoberflächen, eignet sich das WHP System ausgezeichnet zur Be- und Entladung von Aluminiumoxid (AlOx) PECVD-Prozesssystemen.
In der Konfiguration WHP HTP erreicht das System einen Durchsatz von 8.000 Wafer/h und ist damit das leistungsstärkste am Markt verfügbare System.
konfiguriert für eine Vielzahl von Rohranlagen für Passivierung und Nitridbeschichtung (z.B. SiNx, SiOx, AlOx)
konfigurierbar hinsichtlich Materialzufuhr | Automatisierungs- und Chemie-Carrier
exakte Wafer-Ausrichtung
Mehrfachvakuumgreifer mit Einzelwaferdetektion
hohe Prozessgüte durch beschädigungsfreie Positionierung und Ausrichtung der Wafer im Prozessboot
Automatisierung von bis zu zwei Prozessöfen mit einer WHP
integriertes Farbmesssystem
integrierte Materialverfolgung
MES SECS / GEM PV2
Farbinspektionssystem mit Schlechtteil-Ausschleusung
Brucherkennung unprozessierter Wafer
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