HJT TRAY AUTOMATION
SNEC – Vollautomatisches Wafer- und Trayhandling für die hoch effiziente Produktion global wettbewerbsfähiger Heterojunction (HJT) Solarzellen
Das System basiert auf den Funktionen des bewährten, modularen Tray-Automation-Systems für Standardzellkonzepte. Diese wurden für die sehr anspruchsvolle Fertigung hocheffizienter HJT-Solarzellen weiterentwickelt. Herausragende Innovation ist das besonders oberflächenschonende, dabei performante Handling der Wafer im Inline-Flach-Carrier-Transport. Die Wafer werden präzise, reihenweise positioniert und einzeln vermessen. Eventuelle Abweichungen von den Sollmaßen werden automatisch kompensiert. Das Messsystem berücksichtigt dabei auch die temperaturbedingte Längenausdehnung der Trays. Realisiert werden zudem standardisierte Schnittstellen zum Austausch von Prozessdaten von auf Industrie-PC basierenden Automatisierung mit überlagerten Manufacturing Execution Systemen (MES). Damit sind ohne zusätzlichen Aufwand die Voraussetzungen für eine durchgängige Nachverfolgung und Optimierung von Abläufen im Sinne von Industrie 4.0 geschaffen.
Die Automatisierungsplattform HJT TRAY AUTOMATION bietet präzises Wafer-Handling zum Beispiel auch unter erhöhten Temperaturen von über 200°C und unter Schutzatmosphäre (Stickstoff). Realisiert wird dies durch ein innovatives Greifer- und Transportsystem und umfassende Sensorik zur Erfassung der Wafer-Dicke und -Farbe, Lage der Wafer und Tray-Taschen, sowie von Temperatur, Stickstoffkonzentration und Luftfeuchtigkeit im Arbeitsraum. Eine kamerabasierte Bruchkontrolle und die Ausschleusung fehlerhafter Wafer am Einlauf zur Linie und am Auslauf jeder Handling-Station, garantieren eine hohe Prozesssicherheit und minimalen Ausschuss von unter 0,2 Prozent – all das bei höchster Anlagenverfügbarkeit.
Die äußerst schonende Handhabung der Wafer beim Greifen und Ablegen in die Tray-Taschen und der schonende Transport auf speziellen Förderbändern minimieren das Risiko der Oberflächenbeschädigung signifikant. Dies trägt zu dauerhaft hohen Wirkungsgraden der fertigen Heterojunction (HJT) Solarzellen bei. Das modulare Plattformkonzept von Jonas & Redmann lässt sich individuell an praktisch jede Prozesstechnik anpassen. Bewährte Module und Funktionen stehen für kurze Entwicklungszeiten, dauerhaft zuverlässigen Betrieb, lange Lebensdauer und somit maximale Investitionssicherheit.
Das TRAY AUTOMATION System von Jonas & Redmann wurde bereits für Durchsätze von bis zu 6.500 Wafern pro Stunde gebaut. Im Rahmen eines aktuellen Projekts gewährleistet es bei einer Ausbringung der PECVD-Prozessmaschinen von mindestens 2.600 Wafern pro Stunde unter allen Umständen eine sichere Ver- und Entsorgung. Simultanes, reihenweises Aufnehmen und Ablegen ein- und ausgehender (roher/teilprozessierter und endprozessierter) Wafer trägt dabei zu kurzen Zykluszeiten bei.
Wir freuen uns Ihren Besuch auf der SNEC 2019. Gern senden wir Ihnen ein persönliches Messeticket zu und beantworten Ihnen Fragen zu unseren Heterojunction Technologien.
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